Wafle silikonowe to nosiciele większości żetonów. Jednak kawałek wafla krzemowego ukrywa wiele nieznanych detali, takich jak: Jakie są kryształowe orientacje krzemowych? Ile jest krawędzi pozycjonowania? Jak pozycjonuje się krawędź pozycjonowania? Jaka jest różnica między krawędzią pozycjonowania a rowkiem pozycjonowania? I tak dalej. Wyjaśnijmy to szczegółowo dzisiaj.
Jaki jest pozycjonujący krawędź\/groove?
Groove pozycjonujący (Notch) służy do pozycjonowania płytek krzemowych powyżej 8 cali (włączający), a krawędź pozycjonowania (płaska) służy do pozycjonowania płytek krzemowych poniżej 8 cali.
Krawędź pozycjonująca wafla krzemowa jest krótką stroną wafla krzemowego, a rowek pozycjonujący jest półkoliskiem lub w kształcie litery V na krawędzi.
Jak powstają rowki\/krawędzie pozycjonujące?
Po użyciu metody CZ do wyciągnięcia wlewki, dwa końce należy odciąć, a następnie kolumna krzemu jest promieniowo uziemiona, aby uzyskać odpowiednią średnicę, a następnie część kolumny krzemowej jest mielona, aby uzyskać krawędź pozycjonowania, a na koniec kolumna krzemu jest wycinana na silikonowe zawale jeden po drugim z drucianą piła lub wewnętrzne okrąg.
Związek z orientacją kryształową i domieszkowaniem
Zasadniczo tylko krawędź pozycjonowania ma funkcję wskazania orientacji kryształów i typu dopingu. Orientacja kryształu i domieszkowanie wafla krzemowego są określane zgodnie z pozycją i liczbą krawędzi pozycjonowania. Groove pozycjonujący będzie na dole wafla krzemowego, a orientację kryształów i typu domieszkowania nie można intuicyjnie zobaczyć przez rowek pozycjonujący. Wspólne orientacje kryształów to<100>, <110>, <111>, a typy domieszkowania są typu N i typu P.
Liczba pozycjonowania krawędzi wafla krzemowego wynosi jeden lub dwa. Rodzaj wafla krzemowego z tylko jedną krawędzią pozycjonowania to typ p.<111>. Jeśli wafel krzemowy ma dwie krawędzie pozycjonujące, wówczas dłuższa krawędź pozycjonowania jest główną krawędzią pozycjonowania, a krótsza jest wtórną krawędź pozycjonowania. Główna krawędź pozycjonująca jest wygodna głównie do wyrównania wafla krzemowego w procesie półprzewodnikowym, podczas gdy wtórna krawędź pozycjonowania wskazuje na orientację kryształu i rodzaj domieszkowania. Główna krawędź pozycjonująca znajduje się na dnie wafla krzemowego, podczas gdy położenie wtórnej krawędzi pozycjonowania nie jest ustalone i zmienia się wraz ze zmianą orientacji kryształu i dopingu wafla.
Zasadniczo długość głównej krawędzi pozycjonowania 2- calowego wynosi 15,8 mm, długość głównej krawędzi pozycjonowania 4- calowego płytki wynosi 32,5 mm, a długość głównej krawędzi pozycjonowania 6- calowego wafla calowego wynosi 57,5 mm.
Gdy kąt między główną krawędzią pozycjonowania a wtórną krawędzią pozycjonowania wynosi 45 stopni, typ wafla krzemowy jest typu N<111>; Gdy kąt między główną krawędzią pozycjonowania a wtórną krawędzią pozycjonowania wynosi 90 stopni, typ opłatek krzemowy jest typu p<100>; Gdy kąt między główną krawędzią pozycjonowania a wtórną krawędzią pozycjonowania wynosi 180 stopni, typ opłatek krzemowy jest typu N<100>. Od<110>Orientacja kryształów nie jest orientacją kryształową kryształów krzemowych, nie ma standardu do reprezentowania. .<110>Orientację kryształów może być reprezentowana zgodnie ze standardami dostawcy płytki krzemu.
Wpływ orientacji kryształów na technologię półprzewodników
Na (100) płaszczyźnie kryształowej rozmieszczenie atomów krzemu jest tetragonalne, podczas gdy na płaszczyźnie kryształowej (111) rozłożenie atomów krzemu jest sześciokątne. Ponieważ atomy krzemu na płaszczyźnie kryształów (111) są bardziej zwarte, ich reaktywność chemiczna jest stosunkowo niska, podczas gdy (100) płaszczyzna kryształu jest odwrotna i ma wyższą reaktywność chemiczną.
Dlatego krzem na (100) trawkach płaszczyzny kryształowej szybciej niż krzem na płaszczyźnie kryształowej (111), a szybkość utleniania płaszczyzny kryształu (111) jest zwykle niższa niż w (100) płaszczyźnie kryształowej.
Wpływ stężenia domieszkowania wafli krzemu na procesy półprzewodników
Podczas procesu trawienia domieszki zwiększają przewodność krzemu, co czyni go bardziej podatnym na elektrokemiczne trawienie. Różne stężenia domieszkowania spowodują różne szybkości trawienia, a wysoce domieszkowany krzem zwykle trawią się szybciej.
Podczas procesu dyfuzji stężenie domieszkowania wafla krzemowego wpłynie również na szybkość dyfuzji domieszki w krzemie. Wysoce domieszkowany krzem spowoduje głębsze rozproszenie domieszki.
