Co to jest wycięcie waflowe?
Nacięcie to mały rowek wycięty bezpośrednio pod płytką krzemową, zwykle w kształcie litery V lub U. Notch ma dwie funkcje. Jednym z nich jest oznaczenie orientacji kryształów płytki krzemowej, np<100>, <110>, <111>itp. Inną funkcją jest umożliwienie prawidłowego umiejscowienia i wyrównania płytki krzemowej w sprzęcie do produkcji półprzewodników. Ogólnie rzecz biorąc, nacięcia znajdują się w płytkach 8-calowych i 12-calowych.
Jak wygląda Notch?
Rozmiar wycięcia musi ściśle odpowiadać standardom SEMI, jak pokazano na powyższym rysunku:
1. Vw oznacza całkowitą szerokość nacięcia, a jego wielkość jest powiązana ze średnicą i grubością płytki krzemowej.
2. Vh to głębokość karbu, która wskazuje pionową odległość od krawędzi płytki krzemowej do dna rowka. Zwykle waha się od 1,0 do 1,25 mm. Vh ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia dokładności wyrównania wycięcia.
3. AngV, czyli kąt nacięcia. AngV to kąt nacięcia, czyli kąt pomiędzy krawędziami rowka po obu stronach. Zwykle wynosi od 89 stopni do 95 stopni. Kąt ten odgrywa decydującą rolę w geometrii i położeniu wycięcia.
4. R1 i R2 reprezentują promienie narożników po obu stronach wycięcia. Te dwa promienie decydują o gładkości naroży rowka, wpływają na koncentrację naprężeń w karbie i wpływają na właściwości mechaniczne płytki krzemowej.
5. Vr to promień krzywizny u dołu karbu, wskazujący wielkość łuku u dołu rowka. Vr może zmienić kształt krzywej i gładkość wycięcia. Większe Vr może sprawić, że spód wycięcia będzie bardziej płaski, co pomaga zmniejszyć koncentrację naprężeń.
6. Orientacja wycięcia: Kierunek rowka jest równoległy do określonej orientacji kryształu płytki i dopuszczalne jest odchylenie o ± 2 stopnie.