Gdzie stosuje się podkładki do polerowania płytek silikonowych?

Najczęściej stosowanym produktem są wafle polerowane, natomiast inne wyroby z wafli krzemowych powstają w drodze wtórnej obróbki na bazie wafli polerowanych.
Wafle polerowane to najbardziej podstawowe i powszechnie stosowane wafle krzemowe. Płytki polerowane mogą być bezpośrednio wykorzystywane do wytwarzania urządzeń półprzewodnikowych, szeroko stosowanych w układach pamięci i urządzeniach zasilających, a także mogą być stosowane jako materiały podłoża dla płytek epitaksjalnych, płytek krzemowych SOI i innych rodzajów płytek krzemowych.
Wraz z ciągłym zmniejszaniem się charakterystycznej szerokości linii układów scalonych i coraz większą precyzją litografii, niezwykle małe nierówności na płytce krzemowej będą powodować deformację i przemieszczenie grafiki układu scalonego. Technologia produkcji płytek krzemowych stawia czoła coraz większym wymaganiom i wyzwaniom. Rozmiar i czystość cząstek powierzchni chipa również mają bezpośredni wpływ na wydajność produktów półprzewodnikowych.
Dlatego proces polerowania jest bardzo ważny dla poprawy płaskości i czystości powierzchni płytki krzemowej. Główną zasadą jest osiągnięcie planaryzacji powierzchni półprzewodnikowej płytki krzemowej i zmniejszenie chropowatości poprzez usunięcie resztkowej warstwy uszkodzeń na obrabianej powierzchni.